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每立方將低于0.5微米粒度的浮塵總數操縱在3500個下列,就做到了國際性潔凈規范的A級?,F階段運用在射頻收發器生產制造的潔凈規范針對塵土的規定高過A級,那樣的高標準關鍵被運用在一些級別較高芯片加工上。浮塵總數被嚴控在每立方1000個之內,這也就是業界別名等級中的千級。
千級無塵車間的規范,浮塵總數被嚴控在每立方1000個之內,這也就是業界千級無塵車間的含意。(1000級的定義是:每立方英寸內,高于或等于0.5的塵土顆粒物不可以超出1000顆)。
無塵車間級別規范區劃潔凈室等級規范ISO14644依據飄浮顆粒濃度值這一唯一指標值來區劃凈化室(區)及有關可控自然環境中氣體潔凈度等級的級別,而且僅考慮到粒度限制值(下限)0.1um~0.5um范疇內總計遍布的粒子群。依據顆粒徑,能夠區劃為基本顆粒(0.1um~0.5um)、超微顆粒(<0.1um)和宏顆粒(>5.0um)。
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